深圳市石金科技股份有限公司

产地	深圳
类型	模型
适用范围	应用太阳能光伏电池片镀膜用
执行质量标准	国标
作用对象	太阳能光伏电池片PECVD渡膜
品牌	石金
加工定制	是

首先要知道PECVD( Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子增强化学气相沉积，等离子体是物质分子热运动加剧，相互间的碰撞会导致气体分子产生电离，物质**会变成自由运动并由相互作用的正离子、电子和中性粒子组成的混合物在石墨舟上的硅片上。

据测算，光在硅表面的反射损失率高达35%左右，减反膜可以极高地提高电池片对太阳光的利用率，有助于提高光生电流密度，进而提高转换效率，同时薄膜中的氢对于石墨舟上的电池片表面的钝化降低了发射结的表面复合速率，减小了暗电流，提升了开路电压，提高了光电转换效率；在烧穿工艺中的高温瞬时退火断裂了一些Si-H、N-H键，游离出来的H进一步加强了对电池的钝化。

由于光伏级硅材料中不可避免的含有大量的杂质和缺陷，导致石墨舟上的硅片中少子寿命及扩散长度降低，从而导致电池的转换效率下降，H能与硅中的缺陷或杂质进行反应，从而将禁带中的能带转入价带或者导带。

PECVD原理

PECVD 系统是一组利用石墨舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下，等离子发生器直接装在镀膜板中间发生反应。所用的活性气体为硅烷SiH4和氨NH3。这些气体作用于存储在石墨舟上的硅片上的氮化硅。可以根据改变硅烷对氨气的比率，来得到不同的折射指数。在沉积工艺中，伴有大量的氢原子和氢离子的产生，使得晶片的氢钝化性十分良好。在真空、480摄氏度的环境温度下，通过对石墨舟的导电，使硅片的表面镀上一层SixNy。

深圳市石金科技股份有限公司成立于2005年，现在注册资金4050万元，公司位于广东省深圳市宝安区，是专业从事石墨及碳素产品的应用

研发、设计、生产、销售及技术服务的高新技术企业。

公司专业为汽车行业、模具行业、机械行业、电子半导体及太阳能光伏产业等提供石墨材料及相关的精密石墨制品，太阳能电池工艺设备

（PECVD）用石墨舟及板框、多晶硅铸锭炉热场、C/C复合材料和保温隔热用石墨毡等产品，并由专业的石墨工程团队为石墨应用行业及

产品提供相应的应用技术服务及技术更新方案。石金致力于材料技术、应用技术、加工技术的创新，不断将石墨碳素材料应用拓展到新的

领域，公司在自主创新的路上一直迈着稳健的步伐。

公司于2015年在“新三板”挂牌，同年获得广东省科学进步一等奖，2017年获得“深圳市自主创新**”称号，重视产品品质与技术创新，

一直是石金的基因，公司已经通过ISO9001:2015、IATF16949:2016、GB/T29490-2013管理体系认证。
石金公司在追求全体员工及其家人物质和精神两方面得到幸福的同时、并为人类社会的进步与发展作出特殊贡献。

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