自20世纪60年代起，半导体行业的发展逐渐引起了人们的关注。随着科技日新月异的发展，半导体制造技术也在不断地被推陈出新。高端芯片的生产需要高端的光刻机，而高端光刻机中则需要更为高级的EUV光源。EUV光源技术是半导体制造的重要组成部分，也是半导体技术领域的关键环节。
尽管国内半导体产业蓬勃发展，但长期以来，国内EUV光源技术都是从国外引进。这种局面对于中国高端芯片产业来说是一种不利的局面，因为彻底掌握该技术的国家才能在半导体产业中取得更强的竞争优势。
然而，随着科学技术的不断进步和日益增长的需求，我国半导体产业的技术水平得到了不断提升。最近，哈尔滨工业大学攻克了EUV光源技术，填补了国内相关领域的空白，为中国高端芯片产业打下了坚实的基础。
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