众所周知,目前全球仅有一家厂商,能够生产EUV光刻机,它就是荷兰的ASML。
而之所以全球仅此一家,这是因为ASML将很多关键的厂商捆绑在了一起,比如德国光学公司蔡司(Zeiss),再比如美国的Cymer,再比如德国的通快集团(TRUMPF)等。
ASML通过投资、收购、占股,建立研究中心等等方式,将这些厂商绑在了自己的战车上,而这些厂商,可能是全球唯一能够生产这些产品的厂商,所以最终全球仅ASML一家能够生产EUV光刻机。
不过,近日,ASML的一家关键供应链,跑到中国深圳来建厂了,其深圳子公司落户宝安中德(欧)产业示范园。
这家厂商就是德国的通快集团(TRUMPF),它是ASML的EUV光刻机中,全球唯一一家激光源供应商。
TRUMPF的产品在EUV光刻机中,有多重要?先听我说一下EUV光刻机的原理,大家就懂了。
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