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这一成果,助力光刻机自主研发“最核心”难题!

2023-06-05 18:541490

 

 

清华大学工物系教授唐传祥研究组

与亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)

以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的

合作团队在《自然》(Nature)上发表了

题为《稳态微聚束原理的实验演示》(Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching)的研究论文

报告了一种新型粒子加速器光源

“稳态微聚束”

(Steady-state microbunching,SSMB)

首个原理验证实验

基于SSMB原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。《自然》评阅人对该研究高度评价,认为 “展示了一种新的方法论”,“必将引起粒子加速器和同步辐射领域的兴趣”。《自然》相关评论文章写到“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光——的特性。SSMB光源未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。”该论文一经刊发,立即引起国内外学术界及产业界的高度关注。

图1. SSMB原理验证实验示意图(图片来源:《自然》)

图2. SSMB原理验证实验结果(图片来源:《自然》)

实验中,研究团队利用波长1064纳米的激光操控位于柏林的储存环MLS内的电子束,使电子束绕环一整圈(周长48米)后形成精细的微结构,也即微聚束。微聚束会在激光波长及其高次谐波上辐射出高强度的窄带宽相干光,实验通过探测该辐射验证微聚束的形成。微聚束的形成,证明了电子的光学相位能以短于激光波长的精度逐圈关联起来,使得电子可被稳态地束缚在激光形成的光学势井中,验证了SSMB的工作机理。实验示意如图1所示,部分实验结果如图2所示。    

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