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EUV光刻技术隐秘往事:近40个国家入局,研发难度超原子弹

2023-06-05 18:561090




 

划重点:

1、从最终仅一国胜出的结果看,EUV光刻技术研发难度超过了原子弹。

2、2008 Sematech光刻论坛举办方让专家们就当时的各种光刻技术的市场前景投票,结果EUV光刻技术获得60%的认可,远超其它光刻技术方案。这无疑为系统集成商ASML打了一针鸡血。

3、欧美和日韩发达国家,之所以挤破头也要入局EUV光刻技术,主要是为了替本国的半导体产业抢购未来的车票。

以下为正文:

5月5日,中国最大的晶圆代工厂中芯国际宣布回归A股,确定科创板上市,拟发行16.86亿股份,募集的资金中,40%将投入14nm制程工艺项目。

中芯国际回归A股,表明未来融资通道将更为顺畅,可望缓解制程工艺提升路上的资金饥渴。但市场更关心的,是中芯国际何时能用上EUV光刻机?公司联席CEO梁孟松曾明确表示,后续的5nm、3nm制程工艺,是必须要有EUV光刻机的。

一个不可忽略的现实是,由于EUV光刻机目前无法实现国产替代,已经成为未来国产芯片制程工艺迈向国际领先水平的制约因素。

问题来了,我们曾在一穷二白的条件下成功搞出“两弹一星”,为何迟迟没有研发出EUV光刻机?或者说,EUV光刻机的研发难度会超过原子弹?

01 近40个国家加入EUV光刻技术研发战团

EUV光刻技术的研发始于20多年前,前后有近40个国家加入战团,欧美发达国家几乎悉数入局。

行动最早的是美国。

早在1996年以前,美国即开始电子束和软X射线光刻技术研究,不过并没有商业目的,研究机构主要是国家实验室、AT&T和相关大学。

1997年,美国科技巨头们开始集体行动,英特尔联合AMD、摩托罗拉、美光、Infineon和IBM成立EUV光刻技术研发联盟。

到1999年时,EUV光刻技术的基础研究成为显学。这一年,EUV光刻技术被国际半导体技术发展路线图(ITRS)确定为下一代光刻首选技术,这就意味着,谁如果不参与到EUV光刻技术研发,谁就将在下一代芯片竞赛中自动弃权。

当时,全球芯片产业还是四分天下格局,美国巩固了CPU等逻辑芯片的霸主地位,欧洲芯片正在衰落,期望抓住一根转运的稻草,韩国和日本正为争夺存储芯片在市场大打出手,谁也不敢松口气。

于是,包括美国在内,欧洲、日本和韩国,个个撸起袖子,摩拳擦掌,都想要占领EUV光刻技术这个未来制高点:

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