近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学 EUV 项目把 ASML 的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。
对此,中国电子工程设计院有限公司(下称“中国电子院”)今日下午发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。
近期,一则消息在各大视频平台广为传播,称清华大学 EUV 项目把 ASML 的光刻机巨大化,实现了光刻机国产化,并表示这个项目已经在雄安新区落地。
对此,中国电子工程设计院有限公司(下称“中国电子院”)今日下午发声,称该项目并非网传的国产光刻机工厂,而是北京高能同步辐射光源项目(HEPS)。
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