如何遏制竞争对手的发展，对于老美而言，答案非常简单，制裁！如果达不到目的，那么就再来一次！尤其在对待中国企业方面，断供操作系统、芯片及代工业务，如今还计划断供WiFi等常规核心零部件，拉拢世界各国进一步封锁对中国半导体的供应链，所以各个领域实现自主可控已经成为国内企业及科研机构迫切需要解决的问题。不过在各细分领域中，解决高端光刻机自主可控的呼声是最高的。
光刻机领域，ASML的高端EUV光刻机实现了100%的垄断，即便是中高端DUV光刻机，ASML的市场份额也远超其竞争对手尼康、佳能。由于我国拥有全球最大的芯片市场，同时也在成为全球最大的芯片制造国，所以当老美升级出口管制措施，ASML还不忘为中国说好话。当然，ASML目的非常明显，让中企多采购ASML的设备，提升ASML在中国的市场占比。
不过，自华为被断供之后，任正非第一时间声明“不对美技术抱有任何幻想”，国内许多企业及科研机构也感受到了核心技术自主可控的重要性，所以这些年每隔一段时间国内芯片行业就会传来捷报，尤其是光刻机核心子系统方面，华卓精科自主研发的“双工件台”，已经达到了ASML的技术垄断，国防科技大学精密工程团队研发的磁流变和离子束两种超精抛光装备，实现了光学零件加工的纳米精度。
作为“国防七子”之一的哈工大，也正开始逐步瓦解西方的技术优势。比如2023年2月，哈工大宣布成功研制超精密高速激光干涉仪，并且斩获世界光子大会“金燧奖”金奖，证明了这一技术的含金量。这项技术可以实现亚纳米级甚至深亚纳米级的高分辨率高精度位移测量，为我国攻克高端光刻机提供了重要技术支撑。
