光刻机,是一台非常重要的生产仪器。光刻机的精密程度,将会影响到芯片的性能,以及生产的速度,是一国半导体工业发展的关键。因为制作困难,目前全世界只有几家有能力制作这种机器的公司,分别是:荷兰ASML,日本尼康,佳能,以及我们的上海微电子。
不得不说,荷兰ASML在光刻机行业中,占据着绝对的上风,在EUV光刻机上,ASML占据着绝对的主导地位,在中、中、低深UV的光刻机上,ASML虽然占据着主导地位,但还没有完全占据上风,日本佳能和尼康,也占据了一定的市场。

因为ASML拥有美国的大部分技术和专利,再加上老美是美国的“盟友”,所以在中美两国的竞争越来越激烈的时候,美国与荷兰、日本签订了三项条约,禁止14纳米晶片的生产。一开始,荷兰与日本面对我们庞大的市场,都说他们会“温和”一些,不会追随美的步伐,任意切断我们的供应。
日本完全无视供应中断的影响,第一个公布了二十三种半导体生产装备的进口限制,包括光刻、蚀刻、检测、清洁、测量等一系列的生产流程。这也是我们为什么会在日本切断供应之后,就会对其进行严厉抗议,并在WTO上起诉的原因。

而荷兰就不一样了,在受到巨大的压力后,他们不得不限制深紫外光刻机的进口,不过荷兰还是可以向中国出口一些比较老旧的深紫外光刻机,比如1980Di,虽然只有38纳米的一次照射,但经过多次照射后,就可以制造出7纳米的制程,并不会对内地的制程造成太大的阻碍。
这还不算完,在台积电终止28nm制程生产线的时候,荷兰ASML公司,也向中国表明了自己的立场,表示愿意为中国提供更多的光刻机,确保中国制造商的产量,达到了100多台,目前已经向中国提供了100多台。
