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这一成果,助力光刻机自主研发“最核心”难题!

   2023-06-05 清华大学1470
导读

清华大学工物系教授唐传祥研究组与亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的合作团队在《自然》(Nature)上发表了题为《稳态微聚束原理的实验演示》(Experimental demonstration

 

 

清华大学工物系教授唐传祥研究组

与亥姆霍兹柏林材料与能源研究中心(HZB)

以及德国联邦物理技术研究院(PTB)的

合作团队在《自然》(Nature)上发表了

题为《稳态微聚束原理的实验演示》(Experimental demonstration of the mechanism of steady-state microbunching)的研究论文

报告了一种新型粒子加速器光源

“稳态微聚束”

(Steady-state microbunching,SSMB)

首个原理验证实验

基于SSMB原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外(EUV)波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。《自然》评阅人对该研究高度评价,认为 “展示了一种新的方法论”,“必将引起粒子加速器和同步辐射领域的兴趣”。《自然》相关评论文章写到“该实验展示了如何结合现有两类主要加速器光源——同步辐射光源及自由电子激光——的特性。SSMB光源未来有望应用于EUV光刻和角分辨光电子能谱学等领域。”该论文一经刊发,立即引起国内外学术界及产业界的高度关注。

图1. SSMB原理验证实验示意图(图片来源:《自然》)

图2. SSMB原理验证实验结果(图片来源:《自然》)

实验中,研究团队利用波长1064纳米的激光操控位于柏林的储存环MLS内的电子束,使电子束绕环一整圈(周长48米)后形成精细的微结构,也即微聚束。微聚束会在激光波长及其高次谐波上辐射出高强度的窄带宽相干光,实验通过探测该辐射验证微聚束的形成。微聚束的形成,证明了电子的光学相位能以短于激光波长的精度逐圈关联起来,使得电子可被稳态地束缚在激光形成的光学势井中,验证了SSMB的工作机理。实验示意如图1所示,部分实验结果如图2所示。    

 
(文/小编)
 
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