芯片承载着人类最先进的科技。如今中国已成为芯片设计强国,但在芯片制造上却处处被卡,芯片制造究竟难在哪里?
时至今日,芯片已形成一套非常成熟专精的制造流程[1],它并非简单地一步到位,而是分为存在一定时间间隔和空间次序的多个阶段[2]。大体来说,芯片制造分为晶圆加工制造、前道工艺(芯片加工)及后道工艺(封装测试)三大环节,我国主要集中切入晶圆加工制造、后道封装测试两个环节,前道工艺大部分高端设备和材料基本均处于空白状态,所以高端芯片往往需要进口。[3]
本文是“果壳硬科技”策划的“国产替代”系列第二十四篇文章,关注半导体制造全流程。在本文中,你将了解到:半导体制造全流程的技术细节,半导体制造全流程中涉及哪些设备和材料,半导体制造全流程中国内外的发展情况。
一、晶圆制造:先有晶圆后有芯
若想获得一颗芯片,要先将石英砂做成薄薄的晶圆片(或者说衬底),再进行后续加工,最后切割为芯片。
因此,晶圆加工制造是半导体产业最上游、最基础的行业,又分为硅的初步纯化、单晶硅的制造以及晶圆制造三个子产业。
集成电路的生产过程:从石英砂到芯片[4]
晶圆与威化饼干的英文都是wafer,这并非巧合, 打个比方来说,生产晶圆就像生产薄脆饼干,将面粉过筛,再与调料和水混合,经过搅拌成面团后,辊印成型成饼胚,再切割而成。晶圆制造也是同理,只不过,晶圆制造对原材料和工艺的要求极为严苛和复杂。
由于硅在地壳中占比达到25.8%,储量丰富且易于获取,因此硅基半导体是产量最大、应用最广的半导体材料。但并非所有硅都能做芯片,芯片制程工艺的尺度已达到纳米级,任何细微的杂质都会影响芯片正常工作,因此芯片制造中使用的硅是纯度达到99.9999999%~99.999999999%(9~11个9)的高纯多晶硅。
不同芯片需要不同类型晶圆,就像是生产不同口味薄脆饼干,根据不同指标,晶圆分为多种类型。
半导体硅晶圆分类[5]
根据工艺,晶圆可粗略地分为抛光片、外延片、SOI片三大类。无论做成什么样的晶圆,其原点都是抛光片,因为其它类型晶圆均是在抛光片基础上二次加工的产物,比如在抛光片基础上进行退火处理就变为退火片,可拥有非常繁杂的分支。