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光刻机巨头ASML:没有向中国市场推出特别版光刻机

   2023-07-24 观察者网2700
导读

7月6日,针对“将向中国推出特供版DUV光刻机”的传言,荷兰光刻机巨头ASML向观察者网回应表示,“一直以来ASML都遵守所适用的法律条例,我们并没有面向中国市场推出特别版的光刻机”。一周前,荷兰政府正式宣布限制

 

7月6日,针对“将向中国推出特供版DUV光刻机”的传言,荷兰光刻机巨头ASML向观察者网回应表示,“一直以来ASML都遵守所适用的法律条例,我们并没有面向中国市场推出特别版的光刻机”。

一周前,荷兰政府正式宣布限制某些先进半导体设备出口的新规,这些规定将于9月1日生效。具体而言,荷兰政府将要求先进芯片制造设备的公司在出口之前须获得许可证。尽管荷兰政府并未直接点名会受到限制的公司,但外界都明白这是在针对当地最出名的半导体设备公司ASML。

彼时,ASML回应观察者网表示,根据新出口管制条例规定,该公司需要向荷兰政府申请出口许可证才能发运最先进的浸润式DUV系统(即TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统)。荷兰政府将决定是否授予或拒发出口许可证,并将向ASML提供许可证所附条件的细节。

ASML在声明中重点指出,荷兰政府新颁布的出口管制条例只涉及TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统(DUV,深紫外光刻)。而该公司的EUV光刻(极紫外光刻)系统在此前已经受到限制,其他系统的发运暂未受荷兰政府管控。
    

 
(文/小编)
 
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