每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问老师，从理论上讲，光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？
奥普光电（002338.SZ）7月31日在投资者互动平台表示，理论上讲，超精尺可以应用于DUV或者EUV光刻机。
2023-07-31
每日经济新闻490每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问老师，从理论上讲，光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？奥普光电（002338.SZ）7月31日在投资者互动平台表示，理论上讲，超
每经AI快讯，有投资者在投资者互动平台提问：请问老师，从理论上讲，光栅尺是否可以用于DUV光刻机呢？高精尺和超精尺理论上讲是否可以EUV光刻机呢？
奥普光电（002338.SZ）7月31日在投资者互动平台表示，理论上讲，超精尺可以应用于DUV或者EUV光刻机。
