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首台!28nm国产光刻机有望年底交付

   2023-08-03 快科技570
导读

航空发动机曾经被普遍誉为“工业皇冠上的明珠”,但无论军用还是民用,我国航发都已经或正在取得重大突破,让这颗明珠“黯然失色”。在半导体行业,光刻机被很多人称为“半导体工业皇冠上的明珠”,但骨头再硬,也不

 

 

航空发动机曾经被普遍誉为“工业皇冠上的明珠”,但无论军用还是民用,我国航发都已经或正在取得重大突破,让这颗明珠“黯然失色”。

在半导体行业,光刻机被很多人称为“半导体工业皇冠上的明珠”,但骨头再硬,也不是不能啃下来。

据新华网援引《证券日报》消息称,上海微电子在28nm浸没式光刻机的研发上取得重大突破,预计在2023年年底向市场交付国产的第一台SSA/800-10W光刻机设备。

首台28nm国产光刻机有望年底交付!华为已拿下EUV光刻专利

光刻机是决定半导体生产工艺水平高低的核心技术,包含光学系统、微电子系统、计算机系统、精密机械系统、控制系统等构件,极为复杂精密。

事实上,光刻机是一个泛概念,包括三种不同类型:为前道光刻机、后道光刻机、面板光刻机。
    

 
(文/小编)
 
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